一、压力传感器工作原理

高温压力传感器的工作原理风压传感器的压力直接作用在传感器的膜片上，使膜片产生与介质压力成正比的微位移，使传感器的电阻发生变化，和用电子线路检测这一变化，并转换输出一个对应于这个压力的标准信号。

二、相关参数

量 程： -0.1～0～1～150(MPa) 综合精度：0.25%FS、0.5%FS
输出信号： 4～20mA(二线制)、0～5V、1～5V、0～10V(三线制)
供电电压： 24DCV(9～36DCV)
介质温度： -20～800℃
环境温度： 常温(-20～85℃)
零点温漂移： ≤±0.05%FS℃
量程温度漂移： ≤±0.05%FS℃
补偿温度： 0~70℃
安全过载： 150%FS
极限过载： 200%FS
响应时间： 5 mS(上升到90%FS)
负载电阻： 电流输出型：zui大800Ω；电压输出型：大于5KΩ
绝缘电阻： 大于2000MΩ (100VDC)
密封等级： IP65
*稳定性能： 0.1%FS/年
振动影响： 在机械振动频率20Hz～1000Hz内，输出变化小于0.1%FS

三、材质

是由硅膜片、衬底、下电极和绝缘层构成。其中下电极位于厚支撑的衬底上。电极上蒸镀一层绝缘层。硅膜片则是利用各向异性腐蚀技术，在一片硅片上从正反面腐蚀形成的。上下电极的间隙由硅片的腐蚀深度决定。硅膜片和衬底利用键合技术键合在一起，形成具有一定稳定性的硅膜片电容。