质谱仪又称质谱计，是分离和检测不同同位素的仪器。它根据带电粒子在电磁场中能够偏转的原理，按物质原子、分子或分子碎片的质量差异进行分离和检测物质组成的一类仪器。其主要作用是准确测定物质的分子量，以及根据碎片特征进行化合物的结构分析。

　　气体分析质谱仪也属于质谱仪的一种，主要是根据气体样品进行质谱分析。进样气体以1sccm的流量进入毛细管，泵组在抽气时使得进气孔前端的压力在1mbar左右，而在靠近离子源端的压力大约维持在1e-04mbar。这样就使得很少量的样气进入到离子源，然后这些样气就会被高温的灯丝离子化。离子化的带正电的离子被四级杆萃取，通过检测器测量到离子的质量数，从而辨别出被检物质。

　　赛默飞气体质谱的优点

　　1、测量气体种类多

　　2、测试速度快

　　3、灵敏度高

　　4、结果精确

　　5、稳定性和重复性

　　气体分析质谱仪应用范围

　　赛默飞气体质谱的应用范围:

　　发酵反应,燃料电池研究,催化反应,半导体排气监测,气体监测,混合气体检测,真空设备监测,配药溶剂烘干后的检测,气体洗涤器的出气率,CVD(ChemicalVaporDeposition化学气相沉积),热分析,反应过程监控,程序温度解吸附实验,汽车尾气检测,电池生产,变压器油分析,药品包装检测.