电子薄膜应力分布测试仪 基片曲率半径测量测试仪 光学零件平整度面形检测仪 微电子生产半导体基片检测仪

型号AODJ-DZ

电子薄膜应力分布测试仪 基片曲率半径测量测试仪 该产品主要应用在微电子、光电子生产线上和科研、教学等领域Si、Ge、GaAs等半导体基片及电子薄膜应力分布、光学零件面形和平整度面形、基片曲率半径测量测试。该仪器总测量点数多,能给出全场面型分布结果,适合于微电子生产线上产品质量的快速检验和微电子生产工艺研究。

仪器基于干涉计量的全场测试原理,可实时观测面型的分布,迅速了解被测样品的形貌及应力集中位置,及时淘汰早期失效产品。

主要技术指标

Z大样品尺寸≤100mm(4英寸)

电子薄膜应力分布测试仪 基片曲率半径测量测试仪 曲率范围|R|≥5米

测试精度5%

单片测量时间3分钟/片

结果类型面形、曲率半径、应力分布、公式表示、数据表格

电子薄膜应力分布测试仪 基片曲率半径测量测试仪 图形显示功能三维立体显示、二维伪彩色显示、单截面曲线显示

电源AC220V±10%,50Hz±5%

Z大功耗100W

外型尺寸(L×W×H)285mm×680mm×450mm

重量36kg