SL-900超声波多点液位传感器采用套筒式结构,主要应用于半导体行业,适合起泡器,试管,安瓶和供应罐内高纯度化学品液位的高精度和高可靠性测量。液位传感器在化学气相沉积过程中至关重要,如ALD,CVD,PVD等半导体晶圆制造过程。SL-900液位传感器检测非常昂贵的超高纯度化学品(DEAT,DMAH,TAETO,TEOS和金属化初级粒子)的确切数量,减少化学废物,增加产量和利润。
输出:继电器 - 0.5A 干接点 (常开,常关)
重复性:±2mm(典型值)
工作压力:可达250psig (1724Kpa)