MEAS的气体流量传感元件由快速响应的镍热膜和氮化硅基板组成，以确保传感器的高灵敏度和快速响应速度。传感器适合汽车行业的应用。芯片还包括一个用于补偿环境温度的参考传感器，由与热膜相同材料的镍电阻薄膜制成。该型号利用两片热膜进行双向测量，用于补偿的参考传感器则置于另一块基板上，测量实际空气温度。
阻值 @ 25°C & TCR：热膜：2x45Ω和6260ppm/K，参考传感器：2x1700Ω和6260ppm/K
环境温度范围：-40°C ~ +125°C
典型应用: 气体流量测量，发动机进气口气体流量测量，工业气流测量，医疗
行业: 发动机和机动车辆, 工业控制, 医疗
