XENOS

XENOS采用了全新的机械设计理念。与标准桥式测量机不同：Y导轨分布于侧壁顶部，分离式移动行程轴仅横梁于Y轴方向移动，更小及恒定的移动重量——与移动式平台相比堪称真正的优势。更低及恒定的移动重量造就了加速及高速的统一。

XENOS的所有轴均采用线性驱动。其优点：高速、加速极快、定位精度高、驱动无剪切力影响。结合超高分辨率光栅尺技术，XENOS的线性驱动可获得高度稳定性及低于100纳米的*定位精度。例如，测针偏移量越恒定，即可获得更佳的测量精度。于测量曲面时更显见另一优势：测针的移动路径与预定值越吻合，即可实现越出色的精准性。

XENOS于Y轴向配备双线性驱动系统，得益于蔡司的驱动技术可实现优异的同步控制。该技术可据X轴位置分布驱动力。作为控制系统及算法之结合，这是在整个测量范围内获得优异的测量精度及运动稳定性的关键因素。

XENOS在与精度密切相关的机器部件上采用创新的碳化硅陶瓷材料。迄今为止，该材料从未在类似产品或精度的测量机器上得到使用。与常规陶瓷相比，碳化硅陶瓷的热膨胀性降低约50%，而刚性则可提升30%，同时减重20%。与钢材相比，碳化硅陶瓷重量降低50%而竟仍可获得两倍的刚性。

XENOS采用蔡司VAST gold测量探头。在研发过程中，蔡司在测量精度和测量重复度方面对该探头进行了优化。XENOS也采用了新型刚性连接。VAST gold探头可与长度可达800毫米的测针以及重量高达500克的测针配套使用，包括非对称型测针。

全新强化处理气浮轴承具有优异的稳定性及测量精度。

通过全新的电子设计，移动线缆对精度影响显著降低。计算机辅助精度修正（CAA）法和特殊附加CAA修正技术在获得高测量精度的过程中扮演着日趋重要的作用。

0.3 + L/1,000 μm