SuperView W1光学3D表面轮廓仪

SuperView W1光学3D表面轮廓仪

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2020-09-07 20:34:35
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上海伊丰精密仪器有限公司

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产品简介

SuperView W1光学3D表面轮廓仪 产品型号:SuperView W1产品名称:光学3D表面轮廓仪影像系统:10241024(20482048,25921944可选)光学Zoom:1,(0.75,0.5可选)干涉物镜:2.5,5,10,20,50XY平台:尺寸320200mm,行程140110mm,电控XY横向分辨率:0.4mZ轴行程:100mmZ向分辨率:0.1nm单次Z向扫描范围:10.3mm,厚度重复性1nmZ向扫描速度:45m/s可测样品高度:100mm可测样品反射率:0.05%-水平调整:5粗糙度RMS重复性:0.005nm台阶高测量:准确度<0.7%,重复性<0.1% 1主要特点:非接触式无损检测,一键分析、快速高效......

详细介绍

物镜倍率

2.5×

10×

20×

50×

数值孔径

0.075

0.13

0.3

0.4

0.55

可测样品角度

4.3°

7.5°

17.5°

23.5°

33.4°

光学分辨率@550nmµm

3.7

2.1

0.92

0.69

0.5

焦深(µm

48.6

16.2

3.04

1.71

0.9

工作距离(mm

10.3

9.3

7.4

4.7

3.4


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