型号

VX5030

VX5060

VX5100

图像传感器

500万像素CMOS

外接显示器

24英寸 LCD显示器（XGA：1920×1080）

受光镜头

双远心镜头

透射照明系统

远心透过照明（绿色）

视野

20×20mm

Φ60mm

Φ100mm

重复精度

±1μm

±2μm

测量精度

±2μm

±5μm

测量软件

VisionX

显示分辨率

0.1μm

电动载物台

转动速度

0.2转/秒~2转/秒

直径

Φ80mm

承重

3kg

外形尺寸(L×W×H) mm

200×260×635

200×260×635

200×325×700

重量

12kg

14kg

16kg

工作电源

AC220V/50Hz

工作环境

温度10℃~35℃，湿度30~80%，振动<0.002g，低于15Hz