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| 仪器型号 | HPA/HPD500S | HPA/HPD1000S | HPA/HPD1500S | HPA/HPD2000S | HPA/HPD3000S | ||||
| 测量范围 | 0 - 550mm | 0-1050mm | 0-1550mm | 0-2050mm | 0-3050mm | ||||
| 光栅尺长度 | 0 - 570mm | 0-1070mm | 0-1570mm | 0-2070mm | 0-3070mm | ||||
| HPA全量程大允许误差 | 0.7+(L(mm)/1000)µm | ||||||||
| HPD全量程大允许误差 | 0.5+(L(mm)/1000)µm | ||||||||
| 测力 | 0-12N连续可调 | ||||||||
| 重复性(2S) | 0.2µm | ||||||||
| 分辨率 | 0.1µm | ||||||||
| 大移动速度 | 1.5m/秒 | ||||||||
| *工作台 | 可自由沿X方向移动，测量无需辅助支撑 | ||||||||
| 测量显示单元 | HPA: 数据处理显示器 / HPD: PC电脑数据处理系统，LCD液晶显示器 | ||||||||
| 头座微调范围 | 10mm | ||||||||
| 环境温度 | +10℃ - +40℃ | ||||||||
| 环境湿度 | 20% - 80% | ||||||||
| 重量 | 130kg | 180 kg | 220 kg | 260 kg | 320 kg | ||||
