尽量提高传感器的电容，可以提高传感器的灵敏度。由于几何尺寸的限制，无论是何种型式的电容传感器，其电容量都很小。传感器初始电容一般在C=20~200pF，动极板相对位移量，单电容式一般取Δd/d=0.15~0.2mm，差动式为Δd/d=0.3~0.5mm.极板距离d值小至      10~20μm。极板应有较高的表面粗糙度和平整度。提高传感器电容的另一种办法是在极板间选用介电常数大的绝缘材料。

传感器的小电容量变化，注定它易受外界扰动的影响。分布电容会降低传感器的灵敏度。为此，应尽量减小传感器连接电缆的长度，并采用双层屏蔽电缆，同时将电容传感器置于金属屏蔽罩内，并采用集成化的测量电路。