真空电机位移台 真空电机位移台        

真空直线平台：

真空步进电机丝杆平台, 真空电机直线滑台, 真空直线平台,真空滚珠丝杠平台

双轴真空丝杠平台，三轴真空丝杆直线平台

AML的超高真空直线丝杆平台提供长行程，具有zui小高度可以负荷达10kg，他们有广泛间隔的“五辊”滚筒导轨在简单的复合机制中是有用的扭转载荷小。他们是制造使用耐真空的特殊材料，动力使用AML的耐高真空步进电机步进电机。直线运动由金刚石研磨的并校正的丝杆和螺母配合，精密研磨以保证良好的精度并将预紧丝杠位置稳定性消除齿隙。

真空平台指标

行程25-250mm , 每步的分辨率可以达到1u，零间隙，高刚性结构，负载可以达到50kg。可以直接搭载XYZ运动平台。真空度范围是：10^10mbar以内。使用交叉滚珠导轨运动，使运动精度更高。

：郭工  ,  ， ,