旋转机械臂VRS-152真空光学SHINKU厂家

旋转机械臂VRS-152真空光学SHINKU厂家

旋转机械臂VRS-152，VRS-114，VRS-70，VRS-203，VRS253Ⅱ

型号：VRS-152

规格

全高：70mm

内径：Φ102mm

超高真空对应法兰：ICF120FT

旋转：360°手动或马达驱动

分辨率：手柄1圈2°(手动式）

差动排气部：ICF34FT

耐负荷：11KN

自重：6.0kg

泄漏量：1×10^（-10）Pa m^3/sec以下

直线旋转导入机VL-600，VLR-34,KTL-500,KTL-750,KTL-1000

本机是为多室构成的超高真空装置的样品移动而开发的，使用磁铁的样品移送机。

采用放置在真空系统内的磁性在真空内传递传递驱动力的简单结构，与使用胶体的方式相比，脱气非常少，可以使样品平移和旋转。

另外，通过*的磁电路组合方式，可以获得足能够的驱动力。

规格

平行移动（Line）

旋转（Rotation）

平行移动及旋转机构：带刻度、限位器

行程：可制作150mm～1300mm

连接法兰：ICF70（ICF14/152也制作。）

容许泄漏量：1.33X10-11Pa・m3/sec以下

本产品可能会因改良而改变。