ICF70XY机械轴真空光学SHINKU机械臂

ICF70XY机械轴真空光学SHINKU机械臂

回转导入机VBR-70

规格

使用焊接回流10 deg/1刻度

传递扭矩2N・m手动

连接法兰ICF70FH

旋转棒φ8（SUS304）带限位器

约820g

容许泄漏量：1.33X10-11Pa・m3/sec以下

ICF114XY机械轴XY-114M

规格】

X・Y平行移动±3ｍｍ

最小分辨率0.00004mm/脉冲

安装法兰ICF 114

玫瑰内径60mm40mm

容许泄漏量：1.33X10-11Pa・m3/sec以下

也会手工制作

迷你手动机械轴X-34/34

本产品在大气中进行超高真空移动及测定等实验

为了正确且再现性好地操作X轴的平行移动而设计，进行精密的制作、组装，本公司的产品广泛地被各方面利用。

规格

X方向移动±2.5ｍｍ

安装法兰：ICF34FT

焊接回流内径：φ17ｍｍ

容许泄漏量：1.33X10-11Pa・m3/sec以下

也制作马达驱动。

照片是马达驱动

带旋转导入机的便携棒WSR-80

其他，根据用途进行设计。

规格

焊接回流：伸缩方式

行程：0～80mm（也有100mm）、360°旋转

安装法兰：ICF70FH

厚连杆：Φ6、前端部会根据用途制作

容许泄漏量：1.33X10-11Pa・m3/sec以下

贯通型直线导入机LM-40S-BN(LM-80S-BN)

本产品在以往的直线导入机上附加了各种导入机、鱼叉等安装的法兰，不仅可以用于超高真空槽的直线移动、定位等单纯的直线导入机，还可以进行各种复合操作。

由于安装法兰是ICF法兰，所以可以利用一般的送通，例如，与使用电流导入端子的可动型检测器、其他的运动导入机组合而安装了2轴动作型机械手、阀门等的可动型喷嘴、可以考虑斯尼弗等广泛的应用。

规格

移动距离：0～40mm（LM-40S-BN）、0～80mm（LM-80S-BN）

连接法兰：ICF70FH

扩展安装法兰：ICF34FTBNC付ICF34

定位精度：1rev.2mm1刻度／0.1mm

容许泄漏量：1.33X10-11Pa・m3/sec以下