SHINKU真空光学装配用多轴机械臂VM-150

SHINKU真空光学装配用多轴机械臂VM-150

多轴机械臂VM-150

介绍：

本产品是通过超高真空中的冷冻机、高真空中的冷冻机等的移动及测定等实验，设计成能够正确且再现性地操作大气中的上下移动或X.Y的平行移动，并进行精密的制作、组装，以达到功能的优秀和精度本公司的产品广泛应用于各方面。

规格：

XY平行移动：移动±10mm

移动密度10μ以下

Z方向移动：移动130mm

移动密度50μ以下

安装法兰：上部・・ICF70FT

下部…ICF152 FH

焊接贝罗：外径60mm内径40mm

容许泄漏量：1.33X10-11Pa・m3/sec以下

简易型机械臂KMV-70　ST100

本产品通过超高真空中样品等的移动及测定等实验设计，可在大气中进行上下移动或X.Y的平行移动，本产品广泛应用于各方面。

规格

X.Y平行移动：移动±5mm

Z轴移动量：100m/m

安装法兰：上部法兰ICF70FT

下部法兰ICF70FH

焊接贝罗：使用内径40mm

容许泄漏量：1.33X10-11Pa・m3/sec以下

冷冻机用机械臂CLM-70/70

本产品是通过超高真空中的冷冻机、高真空中的冷冻机等的移动及测定等实验，设计成能够正确且再现性地操作大气中的上下移动或X.Y的平行移动，并进行精密的制作、组装，以达到功能的优秀和精度本公司的产品广泛应用于各方面。也制作XY轴、Z轴的马达驱动。

规格

X.Y平行移动：移动±6.5mm（手动）、移动精度10μm以下

Z方向移动：100～200m/m（手动）、移动精度50μm以下

安装法兰：基座法兰ICF70FH、移动法兰ICF70FT

焊接贝罗：外径φ60mm内径φ使用40mm

容许泄漏量：1.33X10-11Pa・m3/sec以下