深圳市井泽贸易有限公司

胡经理

销售AsahiSpectra朝日分光、光学式膜厚计

销售AsahiSpectra朝日分光、光学式膜厚计

光学式膜厚计OMD-1000

自动滤光器 FC8-25A、FC32-25A

测量原理如下：在测量的wafer或glass上面的薄膜上垂直照射可视光，这时光的一部分在膜的表面反射，另一部分透进薄膜，然后在膜与底层 (wafer或glass)之间的界面反射。这时薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光产生干涉现象。SpectraThick series就是利用这种干涉现象来测量薄膜厚度的仪器。

以前的机型的波长选择是过滤式，但是新产品在本公司加入有实绩的分光器，可以选择任意的波长。膜厚变化的信号从电压输出到电脑对应的数字输出，控制机构从手册操作成为通过电脑的命令控制。另外，通过I / F直接与电脑直接连接膜厚计，并没有其他制造商的控制器等，是非常紧凑的系统。

特長

• 分光器搭載のコンパクトな設計
• 耐ノイズ性の向上により、信頼性の高い膜厚監視を実現(静電気放電試験耐圧 ±5kV)
• PCからのコマンドにより自動制御可能
• コントローラーを受光器本体に内蔵したことにより、高いコストパフォーマンスを実現

本体構成と配線