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KS-41A 液体粒子计数器从0.1μm测量SOG中的光致抗蚀剂溶液和颗粒,KS-41A 液体粒子计数器可连接多点监控系统。
光学系统类型 | 侧散射法 |
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光源 | 半导体激光器(波长830 nm,额定输出功率200 mW) |
接液部件材料 | 合成石英,PFA |
粒度部分 | 在0.15μm至0.5μm的 运输时间范围内的10个步骤:0.15μm,0.2μm,0.3μm,0.5μm或更大的4个步骤 |
额定流量 | 10毫升/分钟 |
大粒子数浓度 | 1,200细胞/ mL(计数损失在5%以内) |
电源 | DC12V(KE-40B1提供) |
大小 | 约160(H)×300(W)×250(D)mm(不包括突起) |
重量 | 约7.5公斤 |
产品规格 | KS-42A | KS-42AF | KS-42B | KS-42高炉 | KS-42C | KS-41A | KS-42D |
光学系统 | 光散射法 | ← | ← | ← | ← | ← | 光屏蔽方法 |
光轴交叉角 | 90° | ← | 70° | ← | ← | 90° | - |
细胞材料 | 合成石英 | 蓝宝石 | 合成石英 | 蓝宝石 | 合成石英 | 合成石英 | 合成石英 |
小可测量粒径[mm] | 0.1 | 0.1 | 0.2 | 0.2 | 0.5 | 0.15 | 2 |
计数效率[%] | 70±15 | 60±15 | 70到110 | 70到110 | 70到110 | 50±10 | 100±20 |
大可测量颗粒浓度[数/ mL] | 1200 | ← | ← | ← | ← | ← | 4000 |
额定流量[mL / min] | 10 | ← | ← | ← | ← | ← | 25 |
功耗[VA] | 11 | 11 | 6 | 6 | 五 | 14 | 6.7 |
工作温度[℃] | 15 - 35 | ← | ← | ← | ← | 15至30岁 | 5到40岁 |
使用湿度 | 85%或更少 | ← | 80% | ← | ← | 85%或更少 | 90%或更少 |
储存温度[℃] | -10到50 | ← | ← | ← | ← | ← | ← |
储存湿度 | 90%或更少 | ← | ← | ← | ← | ← | ← |
重量 | 大约4公斤 | ← | 约3.2公斤 | ← | 大约3公斤 | 约7.5公斤 | 约1.9公斤 |
尺寸(不包括投影)[mm] | 240(宽)x 125(长)x 151(深) | ← | ← | ← | ← | 300(宽)x 160(高)x 251(深) | 140(宽)x 125(长)x 150(深) |
主要应用 | 湿法,植物 | ← | ← | ← | ← | 成膜,平版印刷 | 电镀液 |