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KS-41B 液体粒子计数器从0.1μm测量SOG中的光致抗蚀剂溶液和颗粒，KS-41B 液体粒子计数器可连接多点监控系统。
| 光学系统类型 | 侧散射法 |
|---|---|
| 光源 | 半导体激光泵浦固态激光器（波长532 nm，额定输出500 mW） |
| 接液部件材料 | 合成石英，PFA |
| 粒度部分 | （从0.07微米任选地通讯，如果透明的液体，例如纯水）在0.1微米的范围内10个阶段〜0.5微米 工厂：0.1微米或更大，0.15微米或更大，0.2微米或更大，0.3微米或更大，0.5微米或更5个阶段 |
| 额定流量 | 5毫升/分钟 |
| 大粒子数浓度 | 9,600个细胞/ mL（计数损失在10％以内） |
| 电源 | DC12V（KE-40B1提供） |
| 大小 | 约164（H）×464（W）×305（D）mm（不包括突起） |
| 重量 | 大约12.5千克 |
