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特点：

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1. 高精度CNC轮廓/形状测量装置。
2. X1,(Y)和Z2的驱动速度都高达200mm/s,确保实现高速定位，从而大大提高了多轮廓测量和多工件测量任务的速度。
3. 带有а轴的型号，可以通过电动旋转X1轴连续测量水平面和倾斜面。
4. CV-4000CNC系列的驱动装置集成了激光全息测微计检测器，可以在Z轴（垂直方向）的窄/宽范围内实现高精度和高分辨率测量。
5. 带有Y轴的工作台的型号可以沿着Y轴进行多种工件定位，从而扩大了多工件测量范围。
6. 可以通过同时控制X,Y两轴，对斜面进行测量。
7. Z1轴检测器集成了防碰撞安全装置，当主机和工件或夹具碰撞时，检测器将自动停止。
8. 提供易于操作的遥控箱，用户可以通过这两个操纵杆选择合适的轴进行移动。在按键上标有易于理解的图形显示轴的选择状态。
9. 通过USB与数据处理/分析装置（选件）进行信息交换。

技术参数：

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X1轴

测量范围：200mm

分辨率：0. 05μm

检测方法：反射型线性编码器

驱动速度：200mm/s（大CNC）   0-60mm/s（操纵杆）

测量速度：0.02-2mm/s

测量方向：向前/向后

直线度： 2μm/200mm    *以X轴为水平方向上      

指示精度（20℃）：±（1+4L/200）μm    (CV-3000CNC)

±（0.8+4L/200）μm   (CV-4000CNC)

*L=驱动长度（mm） 

а轴：

倾斜角度： -45°或+10°

分辨率：0. 000225°

倾斜范围：6°/s

Z2轴（立柱）

垂直移动：300mm或500mm

分辨率：0.05μm

检测方法：反射型线性编码器

驱动速度：200mm/s（大CNC）   0-60mm/s（操纵杆）

基座尺寸（W×H）：750×600mm

基座材料：花岗岩

Z1轴（检测器）：

测量范围：±25mm

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分辨率：0.2μm (CV-3000CNC)或0.05 μm (CV-4000CNC)

检测方法：线性编码器（CV-3000CNC）,激光全息测微计（CV-4000CNC）

指示精度（20℃）：±（2+I4HI/100）μm   (CV-3000CNC) 

±（0.8+I0.5HI/05）μm  (CV-4000CNC)   *H为水平位置上的测量高度（mm）

测针上/下运作：弧形运动

测针方向：向上/向下

测力： 30mN

跟踪角度：向上70°，向下70°（根据表面粗糙度，使用标准单切面测针）

测针针尖：硬质合金针尖，半径25μm

基座尺寸：（W×H）: 650×450mm或1000×450mm

Y轴*

测量范围：200mm

分辨率： 0.05 μm

驱动速度：大200mm/s（CNC模式）   0-60mm/s（操纵杆控制模式）

台面大承重：20kg

直线度：0.5 μm/200mm

指示精度（20℃）：±（2-2L/100）μm  L=任意两点间的长度（mm）  

重量：240kg,250kg(高立柱型)   （Y轴工作台与振动隔离站的重量除外）

电源：100-240VAC±10%,50/60Hz

能耗：500W（主机）

性能参数：

*根据不同的交流电源电缆及测量装置，可选不同的选件套装。12AAH790（公制型，UL/CSA）,12AAH791(公制型，欧盟)，12AAH792（公制型，BS）,12AAH796（公制型，中国），12AAH797（公制型，EK）,12AAH793（英制型，UL/CSA），12AAH794（英制型，欧盟），12AAH795（英制型，BS）,12AAH798（英制型，中国）

*根据不同的交流电源电缆及测量装置，可选不同的选件套装。12AAH800（公制型，UL/CSA）,12AAH801(公制型，欧盟)，12AAH802（公制型，BS）,12AAH806（公制型，中国），12AAH807（公制型，EK）,12AAH803（英制型，UL/CSA），12AAH804（英制型，欧盟），12AAH805（英制型，BS）,12AAH808（英制型，中国）

*1防震台架

防震台装置：膜片空气弹簧

自然频率：2.5-3.5Hz

减震机构：阻尼孔

调水平装置：带机械阀的自动控制装置

气源气压：390kpa

大承载能力：350kg

尺寸（W×D×H）：1000×895×715mm

重量：280kg

*2Y轴工作台装置

测量范围：200mm

小读数：0.05μm

标尺装置：反射型线性编码器

驱动速度：大200mm/s（CNC）   0-50mm/s（操纵杆）

大承载能力：20kg

直线度：0.5μm/200mm（表面粗糙度）   2μm/200mm（轮廓）

指示精度（20℃）：±（2+2L/100）μm， 轮廓模式    L为两个测量点之间的距离（mm）  

工作台尺寸：200×200mm

尺寸（W×D×H）：320×646×105mm

重量：35kg

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