产品特点

u 采用闭环控制伺服电机，数字式增速信号反馈，速匀准确，寿命长，保证匀胶均匀。

u 5寸全彩触摸屏，智能程序化可编程操控显示，标配10个匀胶梯度阶段（速度和时间梯度设置），可选配10个可编程程序，每个程序下可设置10个匀胶梯度阶段，多100个阶段。

u 内置水平校准装置，大限度的保证旋涂均匀，可对大小不同规格的基片进行旋涂。

多重安全保护

          电磁安全开关，盖子打开卡盘停止，保证安全；

          盖子自锁功能，防止飞片盖弹开伤人；

          双重安全上盖，聚四氟嵌镶钢化玻璃，避免单一玻璃或者亚克力上盖飞片伤人，大限度保证实验人员安全。

u 一机两用，根据不同样品可选真空吸盘和非真空卡盘两种旋涂模式。

u 不锈钢喷塑涂层旋涂壳体，PTFE旋涂腔体，聚丙烯（NPP-H）旋涂托盘，PTFE嵌镶钢化玻璃上盖，耐酸碱防腐蚀，保证仪器在苛刻条件下仍能正常运行。

u 适用硅片、玻璃、石英、金属、GaAs，GaN，InP 等多种材料。

技术参数