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(一)双向扫描轮廓功能
1)双向扫描测量
2)特殊设计的持续爬坡能力
3)陡坡缓降、安全下坡
4)智能采样、针尖分辨率恒定
5)智能恒测力接触
6)效率更高
7)图形分析
(二)螺纹扫描功能
仪器电源:220V/380V±10%,50Hz±2Hz,三相交流,要求有漏电和断电保护
使用环境:无强磁场、震动、腐蚀气体,温度:18-22℃,湿度:≤85%RH
仪器尺寸(长×宽×高): 1200×500×980(mm)
仪器总重量: 约180kg
(一)、轮廓测量技术指标
参数 | 测量范围 | X轴 | 0~325mm(全程光栅) |
Z轴 | 0~325mm(全程光栅) | ||
最小分辨率 | 0.001μm | ||
扫描速度 | 0.1~2mm/s | ||
测量力 | 10-150mN | ||
爬坡能力 | 上坡78º,下坡87 º | ||
Y向工作台 | 移动范围100mm,工作台整体高度85mm | ||
轮廓测量 | 直径测量范围 | 内:φ5~φ200,外螺纹:φ3~φ200 | |
直径测量误差 | ≤±(3+L/100)μm, L为长度,单位mm | ||
轮廓度测量误差 | ≤±(1 +L/100)μm, L为长度,单位mm | ||
表面质量测量 | 粗糙度测量参数 | R参数:Ra,Rq,Rz,Rmax,RPc,Rz-JIS,Rt,Rp,Rv,RSm,Sm,S,Rsk,Rku,Rdq,Rdc, Rmr 核心粗糙度: Rk,Rpk,Rvk,Rpkx,Rvkx,Mr1,Mr2,A1,A2,Vo P轮廓参数:Pa,Pq,Pt,Pz,Pp,Pv,PSm,Psk,Pku,Pdq, Pdc, PPc,Pmr, W轮廓参数:Wa,Wq,Wt,Wz,Wp,Wv,WSm,Wsk,Wku,Wdq,Wdc,Wmr Motif参数:R,AR,W,AW,Rx,Wx,Wte,Nr,Ncrx,Nw,Cpm,CR,CF,CL | |
滤波器 | Gaussian;2RC; | ||
截止波长 | 0.25/0.8/2.5(mm) 或自定义cut-off | ||
测针针尖半径 | 针尖分辨率6nm~30nm | ||
粗糙度测量误差 | 2%-5% 符合“JJF1105-2018触针式表面粗糙度测量仪校准规范 |
(二)、专用螺纹扫描
参数 | 测量范围 | X轴 | 0~225mm(全程光栅) |
Z轴 | 0~225mm(全程光栅) | ||
最小分辨率 | 0.001μm | ||
扫描速度 | 0.1~2mm/s | ||
测量力 | 10-150mN | ||
爬坡能力 | 上坡78º,下坡87 º | ||
螺纹 轮廓测量 | 螺纹测量范围 | 内螺纹:M5~M200,外螺纹:M5~M200 | |
螺纹测量误差(大中小径) | ≤±(4+L/100)μm, L为长度,单位mm | ||
测量不确定度(大中小径) | ≤(5+L/200) μm, (k=2) | ||
螺纹螺距测量误差 | ≤±(1 +L/100)μm, L为长度,单位mm | ||
表面质量 | 滤波器 | Gaussian;2RC;s-Filter | |
取样长度 | 0.25/0.8/2.5/8.0 | ||
粗糙度误差 | 2%-5% | ||
测针针尖半径 | 可选范围:0.02-1mm(最小针尖分辨率3nm) |