PR500/510等离子灰化机的详细资料

PR500：手动控制     PR510：自动触摸屏控制
低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能及触摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型紧凑型的等离子处理设备。

用途

● 去除光刻胶
● 部品清洗
● 界面活性处理
● 微研磨
● 硅晶圆，玻璃基板对应

特征

● 大口径（Φ215mm）石英反应腔
● 小型一体化设计
● 操作简单的触摸屏方式（PR510型）

低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能及触摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型紧凑型的等离子处理设备。

用途

● 去除光刻胶
● 部品清洗
● 界面活性处理
● 微研磨
● 硅晶圆，玻璃基板对应

特征

● 大口径（Φ215mm）石英反应腔
● 小型一体化设计
● 操作简单的触摸屏方式（PR510型）