早期的热式气体质量流量计直接将加线圈和测温元件放入液体中与液体接触，是一种接触式流量计，由于现场环境中普遍存在腐蚀、磨损及防爆问题，使它在工业应用中受到很大限制。到 20 世纪 50 年代，人们又提出了不接触液体的边界层流量计，克服了接触式流量计的缺点，但测量结果受介质参数(如热导率、比率、粘度)以及环境的震动等因素的影响。

到 20 世纪 70 年代，基于测量液体温度分布的热分布型 TMF，优点很多，但只适用于小管径测量。此后，人们又设计了一种插入式热式气体质量流量计，它在国内得到了迅猛的发展，可以用来测量大管径的气体流量。
多点平均矩阵式 670S热式气体质量流量计使用不锈钢传感探头，增加了准确性、坚固性和可靠性。它有两个探头伸入到被测气体中，一个速度传感器用来检测质量，一个自动修正温度变化的温度传感器用来检测气体温度，这两个探头使用参考级甘温元件——铂热电阻。

插入式TMF用标准级铂热电阻(RTD)的铂丝缠绕在一套磁芯棒上插入到一个坚固的不锈钢套筒中，速度传感器 RTD 的电阻比温度传感器 RTD 的电阻小得多，并由电子设备供电产生热量。插入式 TMF的工作原理基于热力学定律，即电子设备提供给速度传感器的电功率等于流动的气体对流换热所带走的热量。