特点：

• 测量及控制气体流量从4sccm（smlm）低至0.1sccm(smlm)
• 数字性能
• Dial-A-Gas多气体切换性能为客户提供10中不同气体的测量及控制
• 支持数字通讯
• MODBUS 
• Profibus DP 
• FF
• Device Net (pending) 
• Compod控制模块可选流量系统和过程控制
• 所有的控制功能都可以通过PC或者工作站实现。
• 316不锈钢的结构适用于所有清洁气体包括有毒和腐蚀性气体。
• 占地面积小，安装更为方便。
• 单边电源输入降低了安装成本及复杂性。
• 每一台Micro-Trak仪表都包括：
• RS-232通讯
• 模拟通讯
• 适用于Windows操作系统的软件。
• 源代码
• 标定证书
• 电气或电缆

性能参数：

• 精度：
• 标准标定：±1.0%满量程及工作条件下的线性度（100M在201-300slpm时精度为2%的满量程）
• Dial-A-Gas®:±1.0%的满量程（所有内置的10种气体）
• 重复性：±0.2%的满量程
• 温度系数：±0.025%的满量程每°F（0.05%的满量程°C）或更小
• 压力系数：±0.01%的满量程每psi（0.15%的满量程bar）或更小
• 响应时间：
• 由安装总体积决定。

工作条件：

气体：可测量及控制所有清洁气体包括腐蚀性和有毒气体，订购时请指明。
以下表格中的10种气体组成了Dial-A-Gas,表格中的气体可以用其他气体替代，zui多可替换9种气体，空气需要保留。

流量范围760mm汞柱，21°C（70°F）下的氮气流量，用其他单位表示的范围也可以提供（例如：nlpm,scfh,nm3/h,kg/h）

气体和环境温度：
32到122°F（0到50°C）
标准气体压力：
zui大压力500psig（34.5barg），爆炸测试可高达750psig（51.7barg）
高压：
zui大压力5000psig（333barg），爆炸测试可高达7500psig(500)barg
泄露参数：
5X10-9atm cc/sec氦气或更低

控制范围：
2-满量程，1.9%时自行切断

密封材料:

316不锈钢或相同规格的不锈钢，416不锈钢，O-型密封圈或者标准底座，也可提供其他材料（请咨询厂家）。
高压型号：O-型圈和尼龙底座

流过仪表的压降：

0.36PSI(24.5mbar)
控制仪所要求的压差:
30psi(2040mbar)较好
21°C，1psi(68mbar)zui小，出口压力为环境压力。
电源要求：（电压噪声波纹峰值与峰值之间不超过100mV）
质量流量计：15到24VDC±10%(zui大130mA)
质量流量控制器（C101）:24VDC10%±10%(规定400mA)
输出信号：

模拟：

线性4-20mA,500欧姆zui大环路电阻和下列之一（用户可选）

线性0-5VDC，1000欧姆zui小负载电阻
线性0-10VDC，1000欧姆zui小负载电阻
线性1-5VDC，1000欧姆zui小负载电阻
数字：
RS-232，Pilot Module显示可选。

数字通讯：

RS-232，RS-485可选
Profibus DP
FF总线
DeviceNet®pending®
RS-485与Modbus RTU通信协议允许多点数字联网
LCD显示可选
内部气体流量累加器和可调脉冲输出
两个数字输出继电器和一个模拟输入可以由用户配置MODBUS或包括多种过程控制软件