产品简介

薄膜电容真空压力传感器的测量原理是通过检测电容变化从而得到真空度变化，能够精确测量出超低的真空，可以测量0.018Pa～200Pa、1Pa～1kPa、10Pa～10kPa 、100Pa～100kPa 、1kPa～1Pa的真空（）压力，以及0~-100kPa的负压。输出信号可选择0-5VDC或0-10VDC或4-20mA电流信号。薄膜电容真空压力传感器接液部分采用抗腐蚀材料，可以测量腐蚀性气体。过程连接可选择快卸法兰，直管插入等几种方式。准确度高达0.25%FS，是实验室研究开发、工艺室、半导体过程工具及设备、各类真空包装真空蒸馏等设备。

产品特点

温度补偿范围宽

EMI抗电磁干扰

*稳定性好

外型结构小巧紧凑

工作寿命长

产品应用

半导体处理室、半导体晶片的处理、装载腔等

石油化工

生物制药

吸收式制冷机

真空包装

冷冻干燥设备

真空蒸馏

技术参数

尺寸图