微型压力传感器是专门为流体力学实验要求非常小的安装尺寸而设计的，它利用硅–硅键合MEMS微机械加工技术使得集成硅膜片有效尺寸小，固有响应频率高，弹性力学特性优良，稳定可靠，对流场影响小，精度高于压电动态压力传感器，成为动压测试中压电压力传感器的换代产品，在爆轰动态、空气动力学测量标准中都*本类压力传感器。可生产探针形、扁平薄饼形（1.5-4mm）。