KEYSIGHT吉时利5位半6517B静电计/高阻表

关键词：静电计，高阻表，电荷，电阻率，电阻

KEYSIGHT吉时利5位半6517B静电计/高阻表提供的精度和灵敏度指标高于其他同类型仪表。它还具有完备的功能，使测量高阻和绝缘材料电阻率变得简单。6517B具有425读数/秒的测试速率，比同类型的静电计快很多，可以提供快速、简易的弱电流测量能力测量弱电流。出众的性能指标半机架型6517B静电计/高阻表具有特殊的低电流输入放大器，其输入偏置电流<3fA，噪声仅0.75fA p-p (峰-峰) ，输入端压降<20μV。对于接近理想的电路负载，其电压和电阻测量的输入阻抗是200TΩ。这些性能指标确保物理、光学、测量范围宽

6517B主要应用领域：

1、非常适合物理、光学、纳米技术和材料科学等研究领域的低电流和高阻抗电压、电阻和电荷测量。

2、其极低的电压降非常适合太阳能电池测量，其内置电压源和低电流灵敏度使之成为基于聚合物的纳米线等高阻测量的出众解决方案。

3、其高速和易用性使之成为质量控制、产品工程和生产测试（包括漏流、击穿和电阻测试）应用的选择。

4、利用6517B型静电计/高阻表的电压反转方法，可以大幅改进对绝缘材料的体电阻率和表面电阻率测量。

5、还非常适合电化学应用，如离子选择性电极和pH测量、电导电池和电势测定。

6517B型静电计/高阻表具有全自动量程，超过电流、电阻、电压和电荷测量满

量程及主要技术参数：

• 电流测量范围：1fA - 20mA

• 电压测量范围：10μV - 200V

• 电阻测量范围：50Ω - 1016Ω

• 电荷测量范围：10fC - 2μC

• 电阻测量可达1016 Ω

• 电流测量范围1fA - 20mA

• 最小电流量程输入端压降<20µV

• 200TΩ 输入阻抗

• <3fA 偏置电流

• 测试速率高达 425 rdgs/s

• 噪声0.75fA p-p

• 内置±1kV电压源

• 高电阻测量电压反接方法

• 可选的插件式扫描卡

改进的高灵敏度测量

许多测试应用要求测量高级别材料的电阻率（面电阻率和体电阻率）。传统测

量方法是对样本施加足够高的电压，测量流经样本的电流，然后利用欧姆定律(R=V

/I)计算其电阻。虽然高阻材料和器件产生很小的电流，很难准确进行测量，但利用

吉时利静电计和皮安计则可以成功地进行这种测量。

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即使利用高精度仪器，材料中固有的背景电流使得进行准确测量较为

困难。由于压电效应、电容效应和偏振效应，绝缘材料、聚合物和塑料通

常都显示出背景电流。这些背景电流一般等于或大于施加电压产生的电流。

在这些情况下，其测量结果往往是不稳定的，生成不准确的电阻或电阻率

读数甚至错误的负值。吉时利 6517B型静电计/高阻表旨在解决这些问题，

并为各种材料和元件提供一致、可重复和精准的测量，特别是与8009型电

阻测试夹具一起使用时。

变换极性法

6517B型静电计/高阻表使用变换电极法，实际上消除了样本的背景电

流。并剔除背景电流的级和第二级漂移。变换电极法施加一个正极性

电压，然后在延迟（测量时间）后测量电流。接着，改变电压极性，

使用相同的延迟，重新测量电流。连续重复这个过程，并根据4个电

流测量结果的加权平均值计算出电阻。对大多数材料来说，通过7次反转(即

舍弃前三个读数)，这个方法通常生成可高度重复、准确的电阻（或电阻

率）测量结果。例如，利用8009型测试夹具0.3%的重复度，可对1mm厚

的1014Ω-cm材料样本进行测量，在15秒测试周期内其背景电流低于200fA