机电薄膜e31测试仪 aix4PB

机电薄膜e31测试仪 aix4PB

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2022-02-11 10:42:00
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北京精科智创科技发展有限公司

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产品简介

机电薄膜e31测试仪 aix4PB
(Electromechanical thin film e31 analyzer )
薄膜材料的机电性能是MEMS器件设计的关键性能,纵向压电系数d33和横向压电系数e31被用于表征传感器和执行器的这些关键性能。
纵向压电系数可由aixDBLI测试,而横向压电系数e31就可用aix4PB系统测试。
通过必要夹具,可以测得正向e31和逆向e31。

详细介绍

机电薄膜e31测试仪 aix4PB

(Electromechanical thin film e31 analyzer )

薄膜材料的机电性能是MEMS器件设计的关键性能,纵向压电系数d33和横向压电系数e31被用于表征传感器和执行器的这些关键性能。

纵向压电系数可由aixDBLI测试,而横向压电系数e31就可用aix4PB系统测试。

通过必要夹具,可以测得正向e31和逆向e31

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标准的aix4PB系统主要由以下部分组成:四点弯曲样品夹具、TF Analyzer 2000、单光束激光测振仪。

可以进行如下测试功能:

全部铁电性能表征,基于TF2000系统,包括极化、电容、漏电流、疲劳测试。

有效横向压电系数的测量通过交替均匀机械力施加于样品,并测试产生的电荷。

所有的测量数据也可以在附加的压缩或拉伸静态负载下进行,这也覆盖了整个压电薄膜在整个MEMS器件中的行程。

特点/规格:

四点弯曲样品夹具:

产生力的压电执行器

激光测振仪夹具

很容易接触到顶部和底部的样品电极

所有的TF2000系统的测试功能 

远程接入和脚本控制的可选件

单光束激光干涉仪,Z小分辨率1nm

软件:

Windows 7 操作系统

通过GPIB或以太网的远程接入和脚本控制

通过ODBC接口的数据库连接

测试数据通过ASCII形式输出

测试数据交换通过aixPlorer软件或Resonance Analyzer



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