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Z+θxθy轴压电偏摆镜采用磁浮驱动技术，具有隔振能力，环境振动向负载镜片的传递将被大幅衰减，在高冲击环境应用中具有其他技术难以取代的优点。
Z+θxθy轴压电偏摆镜技术数据
| 产品型号 | PT2M25-500S / -S | PT2M25-1000S / -S | PT2M25-2000S / -S | 公差 | |
| 运动自由度 | θx、θy | θx、θy | θx、θy | - | |
| 传感器类型 | - / Strain Gage | - / Strain Gage | - / Strain Gage | - | |
| 标称行程范围（@0~+120V） | 500秒 ≈ 2.5 mrad/轴 | 1000秒 ≈ 5 mrad/轴 | 2000秒 ≈ 10 mrad/轴 | ±20% | |
| zui大行程范围（@-20~+150V） | 600秒 ≈ 3 mrad/轴 | 1200秒 ≈ 6 mrad/轴 | 2400秒 ≈ 12 mrad/轴 | ±20% | |
| 分辨率 | 0.1 / 0.2 μrad | 0.2 / 0.4 μrad | 0.3 / 0.6 μrad | typ. | |
| 重复定位精度 | - / 0.05% F.S. | - / 0.1% F.S. | - / 0.15% F.S. | typ. | |
| 线性度 | - / 0.15% F.S. | - / 0.2% F.S. | - / 0.3% F.S. | typ. | |
| 承载能力（*） | Φ25×8mm光学镜片 | Φ25×8mm光学镜片 | Φ25×8mm光学镜片 | typ. | |
| 谐振频率 | 0g | 3500 Hz | 3200 Hz | 3000 Hz | ±20% |
| 静电容量 | 3.4 μF/轴 | 6.8 μF/轴 | 13.6 μF/轴 | ±20% | |
| 工作温度范围 | -10~+70 ℃ | -10~+70 ℃ | -10~+70 ℃ | - | |
| 驱动电压范围（*）1 | 0~+120 V@固定电压 | 0~+120 V@固定电压 | 0~+120 V@固定电压 | typ. | |
| 线缆长度 | 1.5 m/轴 | 1.5 m/轴 | 1.5 m/轴 | ±10mm | |
| 外形尺寸(LxH) | Φ25×38 mm | Φ25×56 mm | Φ25×92 mm | - | |
| 重量 | 200 g | 380 g | 700 g | ±5% | |
| 本体材质2 | 钢（W） | 钢（W） | 钢（W） | - | |
说明：
1.zui大驱动电压可在-20V~+150V使用；*使用建议在0~120V驱动电压下可延长使用寿命。
2.表面处理:白色(W)/黑色(B)。
Z+θxθy轴压电偏摆镜特点：
二维高速压电偏摆镜
高精度电容传感器闭环、高线性度
大偏摆角、超高谐振频率、毫秒级响应时间
Z+θxθy轴压电偏摆镜主要应用
l 光束稳定
l 粒子跟踪
l 快速转向
l 共焦显微镜
l 光镊
