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PT二维压电偏转镜是采用压电陶瓷驱动的二维纳米级精密光束压电偏摆镜,压电偏摆镜内部使用无回差柔性铰链并联导向结构,采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,紧凑的差分并联结构柔性导向系统具有超高的导向精度,且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点。
PT二维压电偏转镜产品特点:
◆紧凑的外形尺寸,结构紧凑,易于集成;
◆ 采用无摩擦、无回差紧凑的差分式并联结构柔性导向系统,具有超高的导向精度;
◆内置高性能的压电陶瓷,高可靠性;
◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈,开/闭环可供选择,可提供定制安装及出线方式。
应用
图像处理/稳定 • 隔行扫描,抖动 • 激光扫描 • 光束偏摆/稳定 • 激光通信 • 光过滤/转换 • 纳米定位
技术数据
产品型号 | PT2M25-500S / -S | PT2M25-1000S / -S | PT2M25-2000S / -S | 公差 | |
运动自由度 | θx、θy | θx、θy | θx、θy | - | |
传感器类型 | - / Strain Gage | - / Strain Gage | - / Strain Gage | - | |
标称行程范围(@0~+120V) | 500秒 ≈ 2.5 mrad/轴 | 1000秒 ≈ 5 mrad/轴 | 2000秒 ≈ 10 mrad/轴 | ±20% | |
zui大行程范围(@-20~+150V) | 600秒 ≈ 3 mrad/轴 | 1200秒 ≈ 6 mrad/轴 | 2400秒 ≈ 12 mrad/轴 | ±20% | |
分辨率 | 0.1 / 0.2 μrad | 0.2 / 0.4 μrad | 0.3 / 0.6 μrad | typ. | |
重复定位精度 | - / 0.05% F.S. | - / 0.1% F.S. | - / 0.15% F.S. | typ. | |
线性度 | - / 0.15% F.S. | - / 0.2% F.S. | - / 0.3% F.S. | typ. | |
承载能力(*) | Φ25×8mm光学镜片 | Φ25×8mm光学镜片 | Φ25×8mm光学镜片 | typ. | |
谐振频率 | 0g | 3500 Hz | 3200 Hz | 3000 Hz | ±20% |
静电容量 | 3.4 μF/轴 | 6.8 μF/轴 | 13.6 μF/轴 | ±20% | |
工作温度范围 | -10~+70 ℃ | -10~+70 ℃ | -10~+70 ℃ | - | |
驱动电压范围(*)1 | 0~+120 V@固定电压 | 0~+120 V@固定电压 | 0~+120 V@固定电压 | typ. | |
线缆长度 | 1.5 m/轴 | 1.5 m/轴 | 1.5 m/轴 | ±10mm | |
外形尺寸(LxH) | Φ25×38 mm | Φ25×56 mm | Φ25×92 mm | - | |
重量 | 200 g | 380 g | 700 g | ±5% | |
本体材质2 | 钢(W) | 钢(W) | 钢(W) | - |
说明:
1.zui大驱动电压可在-20V~+150V使用;*使用建议在0~120V驱动电压下可延长使用寿命。
2.表面处理:白色(W)/黑色(B)。