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高速压电偏摆镜使用无回差柔性铰链并联导向结构，补偿量小，确保了摆镜的运动精度和超高的稳定性。结构内置高性能的压电陶瓷，基于平行运动学设计压电直驱的三脚架结构，提供了非常优异的偏转稳定性。平台采用紧凑的差分并联结构设计且内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。紧凑型设计，可更好的集成于光学系统中。
高速压电偏摆镜技术数据
产品型号 | PT2M25-500S / -S | PT2M25-1000S / -S | PT2M25-2000S / -S | 公差 | |
运动自由度 | θx、θy | θx、θy | θx、θy | - | |
传感器类型 | - / Strain Gage | - / Strain Gage | - / Strain Gage | - | |
标称行程范围（@0~+120V） | 500秒 ≈ 2.5 mrad/轴 | 1000秒 ≈ 5 mrad/轴 | 2000秒 ≈ 10 mrad/轴 | ±20% | |
zui大行程范围（@-20~+150V） | 600秒 ≈ 3 mrad/轴 | 1200秒 ≈ 6 mrad/轴 | 2400秒 ≈ 12 mrad/轴 | ±20% | |
分辨率 | 0.1 / 0.2 μrad | 0.2 / 0.4 μrad | 0.3 / 0.6 μrad | typ. | |
重复定位精度 | - / 0.05% F.S. | - / 0.1% F.S. | - / 0.15% F.S. | typ. | |
线性度 | - / 0.15% F.S. | - / 0.2% F.S. | - / 0.3% F.S. | typ. | |
承载能力（*） | Φ25×8mm光学镜片 | Φ25×8mm光学镜片 | Φ25×8mm光学镜片 | typ. | |
谐振频率 | 0g | 3500 Hz | 3200 Hz | 3000 Hz | ±20% |
静电容量 | 3.4 μF/轴 | 6.8 μF/轴 | 13.6 μF/轴 | ±20% | |
工作温度范围 | -10~+70 ℃ | -10~+70 ℃ | -10~+70 ℃ | - | |
驱动电压范围（*）1 | 0~+120 V@固定电压 | 0~+120 V@固定电压 | 0~+120 V@固定电压 | typ. | |
线缆长度 | 1.5 m/轴 | 1.5 m/轴 | 1.5 m/轴 | ±10mm | |
外形尺寸(LxH) | Φ25×38 mm | Φ25×56 mm | Φ25×92 mm | - | |
重量 | 200 g | 380 g | 700 g | ±5% | |
本体材质2 | 钢（W） | 钢（W） | 钢（W） | - | |
说明：
1.zui大驱动电压可在-20V~+150V使用；*使用建议在0~120V驱动电压下可延长使用寿命。
2.表面处理:白色(W)/黑色(B)。
应用
• 图像处理/稳定 • 隔行扫描、抖动 • 激光对抗 • 光束偏摆/稳定 • 光学、激光扫描、通信、光线偏转、光过滤/转换
特点
• θx, θy偏摆运动 • 开环/闭环 • 80mm×80mm透空孔 • 分辨率高
