DHPS系列直流溅射等离子体实验装置

装置采用同轴二极溅射结构，靶台和靶距离可调节，溅射基片可进行控温加热；

溅射气压、溅射气源流量可调节，可研究不同气压、气源流量对薄膜溅射的影响

；反应腔体采用石英玻璃管，可直观地观察到溅射现象；工作气体可调节更换，

并可多路气体混合工作。可以完成光学薄膜材料的制备及其光学特性的测量、金

属薄膜的制备等实验。

主要实验内容：

◆光学薄膜材料的制备及其光学特性的测量；

◆金属薄膜的制备实验；ZHG-1600电动执行器ZSKQ-5100，DHPS系列直流溅射等离子体实验装置

◆理解直流溅射原理，掌握直流溅射薄膜材料的工艺方法。

主要技术特点：ZHG-1600电动执行器ZSKQ-5100，DHPS系列直流溅射等离子体实验装置

◆溅射靶台和溅射靶距离可调节，研究在不同距离时对薄膜溅射的影响；

◆溅射基片可进行加热，加热温度可控，研究基片温度对薄膜溅射的影响；

◆溅射气压、溅射气源流量可调节，研究不同气压、气源流量对薄膜溅射的影响

◆反应腔体采用石英玻璃管，可直观地观察到溅射现象；

◆供电电源：AC 220V，50 Hz。高斯计特斯拉计

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