一. LICS-300H 激光多普勒干涉仪主要测量功能：

1.   直线位移测量

1)    测量数控轴系直线运动的定位精度和重复定位精度。简称数控

机床定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量。又称：线性 测量，直线测量等。

2. LICS-300H 激光多普勒干涉仪 静态测量和动态测量

1)    静态测量：如直线位移测量，每到测量点被测机床都要停止运 动，等待仪器采样。2)    动态测量：在测量过程中被测机床始终处于运动状态中，也就 是在运动过程中进行位移数据的采集。3)    机床在做二轴插补运动时：位移、速度、加速度的测量。4)    圆形运动轨迹测量。

3.    直线度 、垂直度测量功能

1)    直线度测量（用四象限仪测量）

A.    测量直线轴在运动过程中的上下直线度误差。

B.    测量直线轴在运动过程中的水平直线度误差。

2)    垂直度测量。

A.    测量二直线轴的垂直度误差。

B.    测量二直线轴的平行度误差。

LQ-200直线度测量原理

1)    四象限仪工作原理

当激光束照在象限仪中心，象限仪上感应器 1、2、3 及 4的电流输出是相同的，然而当象限仪偏左的时候，感应器 1 及 2的输出会比 3 及 4 的输出还大；同理，当象限仪偏上方的时候，感应器 2 及 3 的输出则会比 1 及 4 的输出还大。3)    LS-200光学直角（五角棱镜）的光学特性 在忽略棱镜制造误差情况下，当入射光平行于主截面入射到五角棱镜后，出射光也将平行于主截面、并与入射光严格成 90度。4)    LS-200光学直角（五角棱镜）的功能在垂直度测量中，当*轴测量结束以后，装上五角棱镜 将激光束旋转 90 度，来测量第二轴。

5)    直线度测量原理

A.    在真空中激光束是一条严格的直线，在空气中由于气流作 用，激光束近似成一条直线。所以对测量时的环境气流要 求较高！

B.    将激光束与被测导轨调成平行，将激光束作为测量的基准 轴，在导轨运动过程中用四象限仪分段逐点分别读出在上 下、左右的偏差值。

C.    用zui小二乘法原理就可以拟合出导轨运动的理想直线和导 轨运动过程中的上下和左右方向的直线度误差。

6)    垂直度测量原理

A.    垂直度测量分二个过程。首先测出*轴的“理想”直线和 导轨运动过程中的直线度误差。

B.    在*轴测量结束后，装上五角棱镜(光学直角)，将激光 束旋转 90 度与需测量垂直度的第二轴平行。测量出第二轴

           C.    软件计算出*轴和第二轴的垂直度误差。

      D.    垂直度测量示意图：

      E.    测量二直线轴的平行度误差。

4)    作为精密平台的长度基准器。

二. 主要技术指标

三. （标准配置）成套性明细表

四. LICS-300H 测量软件对直线位移测量数据可按以下标准进行分析

和型号(该部份软件为选购附件)：