LW300MT硅芯片检查显微镜专为微电子行业量身定做，适用于硅、砷化镓、磷化铟等基片6″8″盘的生产工艺检查；可以方便的快移和精确的位移检查；也可以适用其它需较大面积标本的工艺检查

LW300MT硅芯片检查显微镜技术参数

规格

目 镜: 10X 广角目镜, 焦距25 mm, 视场数Φ22 mm。

三目镜: 30°倾斜，瞳距：53~75 mm。

物 镜: 无限远平场消色差明/暗视场物镜 （无盖玻片）

转换器: 四孔滚珠内定位转换器。

载物台: 双层机械式载物台, 尺寸：210 X 140 mm，移动范围：75 X 50 mm。

聚光镜: 阿贝聚光镜（带孔径光栏, 数值孔径1.25）。

调焦机构：粗微同轴调焦，粗动手轮松紧可调，带限位锁紧装置，微动格值2μm/格。

照 明: 上光源（落射照明）12V50W卤素灯，亮度可调。

下光源（透射照明）12V30W 卤素灯，亮度可调。

电 源：输入电源电压 （85~265V 50/60Hz）。

技术参数

目 镜: 10X 广角目镜, 焦距25 mm, 视场数Φ22 mm。

三目镜: 30°倾斜，瞳距：53~75 mm。

物 镜: 无限远平场消色差明/暗视场物镜 （无盖玻片）

转换器: 四孔滚珠内定位转换器。

载物台: 双层机械式载物台, 尺寸：210 X 140 mm，移动范围：75 X 50 mm。

聚光镜: 阿贝聚光镜（带孔径光栏, 数值孔径1.25）。

调焦机构：粗微同轴调焦，粗动手轮松紧可调，带限位锁紧装置，微动格值2μm/格。

照 明: 上光源（落射照明）12V50W卤素灯，亮度可调。

下光源（透射照明）12V30W 卤素灯，亮度可调。

电 源：输入电源电压 （85~265V 50/60Hz）。

仪器维护

1. 擦拭机体与载物台面

擦拭前应从主电源插座中拔掉电源插头，确保仪器电源断开。然后用干净柔软的抹布蘸少许中性清洁剂擦拭机体与载物台面。使用仪器前要请确认仪器干燥。

2. 光学部件

显微镜中的目镜、物镜中的镜片都有镀膜。请不要在非常干燥或大灰尘的环境下擦拭。擦拭时首先把可见的灰尘吹去，然后用棉签或抹镜纸蘸少许镜片清洁剂或*擦拭镜片表面，不可使用如二甲苯之类的溶剂擦拭镜片。

3. 勿随意拆卸显微镜！

显微镜是精密光学仪器，各零部件切勿随便拆卸，以免损害其操作效能和精度。如有故障应送专业维修部门或与供应商。

4.不使用仪器时！

仪器不使用时，用有机玻璃或聚乙烯罩子罩上，并存放在干燥与没有霉菌滋生的地方。物镜和目镜放在有干燥剂的密闭容器中。