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半导体特气检测仪XD-303
半导体特气检测仪XD-303 特点：
采用定电位电解式传感器，对被测气体具有选择性。
高检测灵敏度。
能检测很多种类的半导体特气。
液晶数字显示。
| 型 号 | XD-303AH | XD-303PH | XD-303BH | XD-303 |
| 检测对象气体 | 砷烷 (ASH3) | 磷烷 (PH3) | (B2H6) | 其它 |
| 检 测 范 围 | 1ppm 0～0.2ppm | 0～1ppm 0～0.3ppm | 0～1ppm | 因规格而异 |
| 最 小 刻 度 | 0.1ppm 0.01ppm | 0.1ppm 0.01ppm | 0.1ppm | |
| 采 样 方 式 | 自动吸引式 | |||
| 应 答 速 度 | 60%应答40秒 | |||
