MFC 系列热式质量流量控制器为多功能产品，该产品的设计易于使用，方便进行流量检测与控制。本类产品标准工作压力为500psig，标准标定时采用空气、氦气、氢气、二氧化碳，其他气体标定可按要求进行。
所有流量计和控制器均由316L不锈钢棒料制造，可用流量范围从0-10sccm到0-20lpm，其精度可高达±1%满刻度。并且每台仪器都可提供可追溯的NIST标定证书。电路设计可以抗高射频干扰，且响应速度很快，从而确保性能可靠和精度。

特点

• 全量程±1%精度
• 经过验证的可靠性
• 量程–20,000 sccm
• NIST 可追溯校准

应用

• 泄漏测试
• 医疗研究
• 气象淀积
• 研发和工艺流程
• 半导体制程
• 污染检测
• 气体混合
• 色谱分析

技术指标