多路质子控制供气系统描述：

气体从钢瓶出来，经过减压阀减压，通过管道到供气系统的入口，再经过质子流量计控制气体流量，然后经过混气罐，再进入炉子进气口，气体从出气管出来，经过三通阀门，一端连接真空泵，一端连接出气口。混气罐上接有压力表，压力表显数盘与质子流量计安装在同一面板上。每一条气体管路均有一个高压截止阀。

多路质子控制供气系统技术参数：

1.气路通道：多通道（可根据客户需要确定）

2.流量计标准量程：5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM(可以任意选择量程)

3.工作电压：220V 50HZ

4.工作温度：5-45℃

5.工作压差：0.1~0.5MPa

6.额定压力：3MPa

7.准确度：±1.5%F.S.

8.控制面板：每路气路设定和查看都集中在PLC触摸屏上可通过PLC设定每个通道的气体流量，实时查看各通道的流量曲线和设定数据

9.测量范围：0.1MPa-0.15MPa

10.混气罐：304不锈钢

11.进出气接口：采用Φ6不锈钢卡套接头

12.连接管道：内部连接管道为1/4”不锈钢管 外部通气管道为1/4”聚四氟管