产品介绍
概要

搭载有世界上采用了冷却检测方式的流量传感器
特征

通过采用数字回路，实现了高精度?高速响应。
可以进行微升以上的微小流量控制。
可以进行低沸点液体材料、高粘度液体材料的精密流体控制。
超洁净类型
規格

 
名称
质量流量计
型号
LF-F20M-A
LF-F30M-A
LF-F40M-A
LF-F50M-A
LF-F60M-A
全标度流量(g/min)
0.02/0.05/0.1
0.2/0.5
1/2/5
10/20
50/100
检测控制范围
5? F.S.
对象液体种类 *1
可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。
液体粘度 *2
zui大值. 0.1 Pa·s (100cp)
精度 *3
±1% F.S.
直线性 *3
±0.5% F.S.
重复性 *3
±0.5% F.S.
响应精度
3秒以内 (T98)
2秒以内 (T98)
使用环境温度 *4
5?50℃ (15 ? 45℃精度的确保)
温度影響 Span
±0.1%F.S./℃ zui大值±1%
工作差压值值 *5
zui大值. 5MPa (视为流量计) / 50?300kPa (with piezo 控制阀)
耐压
10MPa (视为流量计)
压力損失
zui大值. 500Pa
流量设定信号
模拟：0.25?5 VDC(输入阻抗1MΩ以上)数字式：RS485(F-Net通信协议)
流量输出信号
模拟：0?5 VDC(zui小负荷电阻2kΩ) 数字式：RS485(F-Net通信协议)
驱动电源
+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA
外部泄漏规格
5×10-12Pa·m3/s (He)