5400系列金属密封型质量流量计控制器 -北京北方华瑞自动化科技有限公司手机版

详细介绍

【关联产品】 - GFM气体质量流量计/GFC质量流量控制器 - 3200系列高等级质量流量控制器 - 3660系列标准质量流量控制器 - D3810系列经济型质量流量计 - 5100系列金属密封型质量流量计控制器

【概述/特点】
KOFLOC公司简介: 日本Kofloc公司是一家专业制造质量流量计/质量流量控制器的厂家,在有广泛的销售和应用.该公司产品广泛应用于半导体,LCD,燃烧,实验室分析,生物工艺等场合.
【技术规格】
5400系列金属密封型质量流量计控制器经济型，适用于半导体等行业，5400是质量控制器，5410是质量流量计流量范围：10～500SCCM，1～5SLM，10～20SLM 控制阀：常闭，电磁隔膜阀反应时间：到达设定值±2%范围内≤1秒精度：±1%以内线性：±0.5%以内重复性：±0.2%以内使用压差：范围≤5SLM时，49～294KPA，5SLM <范围≤20SLM时，147～294KPA 压力限制：980KPA 泄露率：1 × 10–11 Pa?m3/second 或更小操作温度：0～50°C 接触介质的材质：本体: SUS316L 隔膜：Ni-CO 阀座:PTFE 密封材料:Ni,SUS316L 连接：1/4VCR 电气连接：9针插座控制信号：0-5VDC 输出信号：0-5VDC 电源：5400：+15 VDC (±5%) 100 mA ， –15 VDC (±5%) 200 mA 　　　5410：+15 VDC (±5%) 100 mA ， –15 VDC (±5%) 100 mA

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