【设计特点】

- 高精度控制，
- 全316L结构
- 金属密封

多种范围量程，实现高精度的快速控制
流量范围：10～500SCCM，1～5SLM，10～20SLM
控制阀：常闭，电磁隔膜阀
反应时间：满量程2%范围内≤1.5秒
精度：±1%以内
线性：±0.5%以内
重复性：±0.2%以内
使用压差：范围≤5SLM时，49～294KPA，5SLM <范围≤20SLM时，98～294KPA
压力限制：980KPA
泄露率：1×10–11 Pa?m3/second 或更小
操作温度：0～50°C
接触介质的材质： SUS316L，Au,PTFE
连接：， 1/4VCR,可选1/4SWL
控制信号：0-5VDC
输出信号：0-5VDC
电源：+15 VDC (±15%) 100 mA ， –15 VDC (±15%) 200 mA
安装方向：任何方位