TEX-25A-高温循环装置加热温度控制器-安捷来国际股份（香港）有限公司手机版

详细介绍

氟作为专用热媒、控制循环装置加热温度

主要用途

●半导体制造装置的加热温度控制
●化学制品的生产系统加热温度控制

主要特点

氟作为专用热媒，控制高温度领域

氟作为热媒介专用设计，可在＋70℃～＋200℃的高温度内准确的控制加热温度(冷却用途不能使用)。

无液漏之忧的泵，通过逆变器进行控制

使用了磁铁耦合型密封泵，无液体泄漏。

可短时间内降温

冷却线圈中一次冷却水在循环时，维修保养时可在短时间降低温度。

技术参数

型号	TEX-25A
使用温度范围	+70℃～+200℃
温度调节精度	*PID控制、±2.0℃(1)**
功率输出	2.5kW
泵能力	流量：10L/min(0.2MPa、60Hz時) 功率输出：0.75kW
升温／降温时间	升温時間(+70℃→+200℃)：約30分(冷却水OFF) 降温時間(+200℃→+70℃)：約25分(冷却水ON) 冷却水条件：約8L/min at +20℃(*2)
安全器/安全功能	漏电断路器、高温、温度异常、防止空烧、液面上限、泵超负荷
输入/输出功能	远程信号输入、加热器ON/OFF输入、冷却水ON/OFF输入、温度监视器信号输出、安全器操作信号外部输出
适用热媒体(循环液)	GALDEN HT270
循环液罐容量	約3L(＋备用罐：約7L)
配管连接口径(循環液出入口、一次冷却水出入口)	Rc1/2、Rc1/2
外形尺寸	405×692×811Hmm
重量	約80kg
电源	三相AC200V・50/60Hz・15A
运转电流	12A

(*1)装置单体无负荷情况下，循环流量在5L/min以上。

(*2)装置单体无负荷情况下。

●本产品使用环境温度范围为+7℃～+35℃。

●本机为大型、重量机器，运送、安装等费用需另付。