型号

SURFCOM3000A

测量范围（mm）

Z轴（纵向）

12mm/50mm测臂、24mm/100mm测臂

X轴（横向）

200mm

精度

Z轴指示精度

（纵向）

±(0.3+2H/100) mm(H:测量高度mm)

测量分辨率

5nm/50mm测臂、10nm/100mm测臂

X轴指示精度

（横向）

±(0.5+L/200) mm(L:测量长度mm)

采样间隔

0.05~20mm

直线度精度

（0.05+1.5L/1000）mm

测量方式

Z轴（纵向）

高稳定倍光路型激光干涉计

X轴（横向）

反光分析光尺

处理功能

参数/运算处理

JIS-2001、JIS-1994、JIS-1982

ISO-1997、ISO-1984、DIN-1990

ASME-1995、符合CNOMO标准

Ra,Rq,Ry,Rp,Pv,Rc,Rz,Rmax,Rt

Rz,J,R3z,Sm,S,R△a,R△q,Rla,

Rlq,Rvk,Mr1,Mr2,VO,K,tp,Rmr

Rmr2,Rdc,AVH,Hmax,Hmin,AREA

NCRX,R,Rx,AR,NR,CPM,SR,SAR

点、直线、部分圆、椭圆、最在点、最小点、距离、坐标着、极坐标差、直交/极坐标差显示、交叉要素（点-直线、直线-下线、圆-直线、圆-圆、圆-椭圆）、对称要素（点-点、点-圆、点-椭圆、直线-直线、圆-圆、圆-椭圆、椭圆­-椭圆）、面积计算、Overpin计算、尺寸线显示功能、计算结果与设计值比对、镜面反转、形状合成功能、宏功能、自动要素判定、计算点的重复功能、工件轨迹功能、峰值谷值搜寻功能、自动操作记录.回放功能、形状设计值比对、似合功能、设计值生成、IGES/DXF转换

评价曲线

剖面曲线、粗糙度曲线、滤波纹度曲线、滤波中心线波纹度曲线、滚动圆波纹度曲线、滚动圆中心线波纹度曲线、KIN4776特殊曲线、粗糙度中心曲线（Motif）波纹度中心曲线（Motif）、包络波纹度曲线

—

表面特性图表

负荷曲线、功率谱曲线图、振幅分曲线

—

倾斜补偿/基准设定

直线补偿、R面补偿、前半补偿、后半补偿、两端补偿、花键曲线补偿（直线、R面、两端补偿可以在任意范围内）

原点设定、X轴设定、平行移动、回转移动

速度

立柱上下移动速度

（Z轴）

3.10mm/s

测量速度（X轴）

0.02~1mm/s(移动速度：0.02~20mm/s)

驱动部

倾斜装置

±45⁰电动/手动

传感器部分

测针

交换式

测量力

0.7mN/16mN以下

测针半径

2mmR60⁰圆锥/50mm测臂/50⁰mm/100测臂

测针材料

金刚石/红宝石

各要素

电源

单相AC100V±10%、50/60Hz

耗电力

450VA

设置尺寸

2100（W）*900（D）*1650（H）mm

质量

350kg