μVOC-CAM型洁净室气态分子污染物监测仪
μVOC-CAM型洁净室气态分子污染物监测仪

μVOC-CAM型洁净室气态分子污染物监测仪

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具体成交价以合同协议为准
2015-09-16 15:58:01
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北京金恒祥仪器有限公司

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产品简介

产地:意大利ETG
简介:
•全自动在线质量监控系统
• 探测VOC含量
• 对污染物进行定性和形态分析
• 探测水平可达ppb以下
• 集成PC,支持数据处理
• 有机化合物探测水平可达ppb水平

详细介绍


μVOC-CAM型洁净室气态分子污染物监测仪

产地:意大利ETG
简介:

?全自动在线质量监控系统

? 探测VOC含量

? 对污染物进行定性和形态分析

? 探测水平可达ppb以下

? 集成PC,支持数据处理

? 有机化合物探测水平可达ppb水平

? 采样点可多达16个

气态分子污染物(AMC)是高科技制造行业非常关心的一个问题,特别是微电子行业。有机污染物会对生产工具产生不利的影响,zui终导致额外的花费。

无污染的生产环境不只是空想,是可以付诸实践的,但是需要对原材料和制造进程中的空气过滤装置进行严格的控制。*的空气分子污染物监测可以帮助稳定生产,增加过滤装置的使用寿命。

通过μVOC-CAM监测仪,用户可以长时间在线监测气态分子污染物的含量,而不需要像使用采样器那样只在某一个时间点进行测量。测量精度水平可达ppb水平以下。

探测精度水平持续保持在ppb以下:

丁酮,*基硅烷,丙酮,乙醇,异丙醇,环己烷,乳酸乙酯,正己烷,乙苯,丁醇,醋酸乙酯,二甲苯,苯乙烯,苯,甲苯,六甲基二硅烷,丙二醇甲醚醋酸酯及其他组分。

运行原理:

*以来,气象色谱就是测量和分离复杂分子化合物的主要选择。气象色谱法取决于样品的蒸发性以及色谱柱对不同组分的吸收能力。

组分被色谱柱洗脱后,由火焰离子检测器(FID)对其电导性进行监测,从而得到组分的含量。*的吹扫和采样系统使探测水平可达ppb以下水平。

规格参数:

测量原理:火焰电离气相色谱法

尺寸(H×W×D):160cmx60cmx80cm

外壳:NEMA 12或IP54有不锈钢

操作温度:10℃~ 35℃

通讯:RS-232, 以太网, ODBC

气体要求:CDA 5 l/min H2 130 sccm(也可选择 H2发生器)

采样通道:多达16通道

分辨率:0.1 ppb

探测组分:可多达30种,用户自定义

测量范围:0-200 ppb




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