高精度的流量测量和控制是半导体组件制造的关键，科迈捷流量计因具有量程范围宽、测量精度高、抗干扰能力强等多种优点，成为工业气体流量测量的理想选择。本文分享的是科迈捷流量计在半导体行业应用的案例。

国内一家大型半导体制造商，半导体制造过程中涉及大量的加工技术，因此对于压缩空气的用量要求十分严苛。工厂的压缩空气系统由1台离心压缩机、5台螺杆压缩机、若干台缓冲罐及干燥机和过滤器组成。该工厂通过企业成本核算发现，工厂车间每天消耗大量的压缩空气，占其总能耗的20-30%，这个消耗量**同行业用气量的平均水平。

该工厂的工程师对过高的用气消耗展开调查和深入的系统测试后，将注意力集中到了安装在输送管网上的流量计上。输气管道暴露在工业振动环境设备中，与流量计连接的振动管道会严重干扰流量传感器，导致流量测量不准确，并且在无流量时仍然显示有流量测量。

科迈捷技术人员了解到客户的诉求之后，认为采用VFM60MV涡街流量计能**满足测量精度需求。根据现场工况，需要流量计具备高精度、抗干扰的高性能流量计，科迈捷VFM60MV具有**的双探头抗振结构结合**保护的数字信号处理技术，能够从噪声中提取有用信号准确稳定测量，在保持工况流量测量精度为±1.0%RD的情况下，测量下限达2m/s，成为工厂压缩空气流量测量的优选。

科迈捷技术人员将VFM60MV涡街流量计分别安装于空压站内部以及车间内输送的主管道上，以此来计量空压机主管出气量以及各车间用气量。VFM60MV涡街流量计运行稳定，计量数据精准可靠，客户所关心的测量精度以及稳定性等问题**解决。

该客户于2019年底顺利采购VFM60MV涡街流量计共计35台，截至今日所有流量计运行稳定，测量效果稳定可靠，不仅为工厂提供高精度的压缩空气流量测量，为提升空气压缩机能效、降低企业成本提供精准数据支撑，同时科迈捷的远程诊断功能为客户提供了强有力的技术支持。

案例背景

该工厂在半导体组件的生产过程中，除了在压缩空气的使用中需要精确的测量，对氮气的使用也是如此。氮气具有可用性和惰性，它是半导体制造过程的各工艺中使用的核心气体，高纯氮气能够对半导体组件进行气氛保护与清洗，保证半导体与集成电路的质量，不仅能够提高生产效率，还有效提升了产品质量。

由于氮气在半导体组件的整个生产过程中被大量使用，大多数半导体设备都在现场保留一台制氮机。因此，在努力满足高需求的同时，保持低成本也是工厂运营过程中的重要一环。

通过了解客户需求和对现场工况的掌握，科迈捷技术人员提出最为合理的解决方案，并选择符合工厂需求的*优产品——TGF460热式气体质量。科迈捷技术人员将使用TGF460热式气体质量流量计安装于制氮机后管道上，在提供精准测量数据的同时，数据通过物联网上传至客户控制室电脑，客户可随时查看实时数据和历史数据，方便、直观、精准。