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概述
nEXT85型分子泵是成熟产品EXT75DX型分子泵的升级产品，技术性能进一步提升，外形进一步简洁美观。
涡轮重新整体设计，以达到优化分子泵性能的目的。在高可靠性的前提下，即能达到更高转速，又能实现更高压缩比。
nEXT85性分子泵的工作性能和服务扩大了nEXT分子泵的应用范围，实现了智能安装、现场服务，成为真正的领*产品。
性能特点
• 性能*，技术领*
• 型号众多，易于用户选择
• 采用Edwards涡轮温度直接测量技术，极大提高工作安全性能
• 前级接口和级间接口可根据用户需求选择（NW40、ISO63、CF63、ISO100）或定制
• 用户可自行更换轴承和油盒
• CMSD技术使得震动水平更低
• 智能化，通过USB口和Edwards nST软件可实现对泵的监测、
技术指标
nEXT85 D | nEXT85 H | ||||||||||||
入口法兰 | NW40 | ISO63 | CF63 | ISO100 | NW40 | ISO63 | CF63 | ISO100 | |||||
抽速 （l/s） | N2 | 47 | 84 | 86 | 47 | 84 | 86 | ||||||
He | 61 | 78 | 80 | 61 | 78 | 78 | |||||||
H2 | 49 | 60 | 60 | 49 | 54 | 54 | |||||||
Ar | 44 | 80 | 84 | 44 | 80 | 84 | |||||||
压 缩 比 | N2 | >1011 | |||||||||||
He | 8×106 | 2×107 | |||||||||||
H2 | 2×105 | 5×105 | |||||||||||
Ar | >1011 | ||||||||||||
极限真空（mbar） | ISO：<5×10-9，CF：<5×10-10 | ||||||||||||
出口法兰 | KF16 | ||||||||||||
放气口/吹扫口 | 1/8英寸BSP母螺纹 | ||||||||||||
质量（kg） | 2.9 | 3.0 | 4.4 | 3.2 | 2.9 | 3.0 | 4.4 | 3.2 | |||||
前级真空要求 （mbar） | N2 | 19 | 21 | ||||||||||
He | 19 | 21 | |||||||||||
H2 | 30 | 30 | |||||||||||
Ar | 22 | 21 | |||||||||||
*大连续入口流量（N2） | 42sccm[水冷（水温15°C，环境温度40°C）]，60sccm[空冷（环境温度20°C）] | ||||||||||||
推荐前级泵 | nXDS15i | 入口*高温度 | 120°C | ||||||||||
工作姿态 | 垂直、水平（±2°） | 工作转速 | 90000rpm | ||||||||||
90%转速启动时间 | 80W：130s，120W：90 s | 冷却方式 | 空冷/水冷 | ||||||||||
噪声（1m处） | <34dB(A)±2.5 | *大耐受磁场 | 3.5mT | ||||||||||
电源 | 24V~48V DC | 模拟输出电压 | 0V~10V DC | ||||||||||
工作温度范围 | 5°C ~40°C | 工作湿度范围 | 10% ~90%RH | ||||||||||
储存温度范围 | -30°C ~70°C | 工作*高海拔 | 2000m | ||||||||||
