MPM4530 压力变送器 应用领域

1、什么是硅谐振式传感器？它是如何工作的？MPM4530 压力变送器 应用领域     硅谐振式传感器是日本横河公司EJA智能变送器中的敏感元件。它是一种微型构件，体积小，功耗低，响应快，便于和信号处理部分集成。如图中所示为硅谐振式传感器中的核心部分——硅谐振梁结构。它是在一块单晶硅芯片上，采用三维表面微机械加工技术，加工成形状大小*相同的两个H型谐振梁，一个在硅片的*，另一个在硅片的边缘。当硅片受到压力作用时，将产生应 变和应力，两个谐振梁也伴随膜片产生相应的应力。但由于它们在膜片上所处的位置不同，它们的应力是不一样的，一个受压，一个受拉，于是它们的谐振固有频率也就发生变化。利用测量两个谐振梁的频率之差，即可得到被测介质的压力或压差。       硅谐振式传感器中的硅梁、规膜片、空腔被封在微型真空中，使它既不能与充灌液接触，又在振动时不受空气阻力的影响，所以用它制成的仪表性能稳定。 

2、在EJA智能变送器中，通过何种方法激励硅谐振子的振动和拾取其信号？    在EJA智能变送器中，硅梁振动的激励与信号的拾取是通过电磁的方式实现的。如图所示，硅谐振梁处于*磁铁提供的磁场中，通过激振线圈A的交变电流i 激发H型硅梁振动，并由拾振线圈B感应后送入自动增益放大器。放大器一方面输出频率，另一方面将交流电流信号反馈给激振线圈，形成一个正反馈闭环自激系统，从而维持硅梁连续等幅振动。

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