1、真空度传感器界说
真空度传感器，采取进步的硅微机器加工技巧出产，以集成硅压阻力敏元件作为传感器的中心元件制成的相对压力变送器，因为采取硅-硅直接键合或硅-派勒克斯玻璃静电键合构成的真空参考压力腔，及一系列无应力封装技巧及精细温度弥补技巧，因此存在稳固性精良、精度高的凸起长处，实用于种种情形下相对压力的丈量与把持。
2、真空度传感器的感化
真空度传感器感化根本都是起测缸内所需焚烧的氛围比度，如骨气门或怠速阀门的开启，所起缸某缸任务在进气时缸内与缸外的氛围成正比差
3、真空度传感器特色及用处
采取低量程芯片真空绝压封装，产物存在高的过载才能。芯片采取真空充注硅油断绝，不锈钢薄膜过渡通报压力，存在精良的介质兼容性，实用于对316L不锈钢不腐化的绝年夜少数气液体介质真空压力的丈量。真空度传感器利用于种种产业情况的低真空丈量与把持。