高精度SF6气体回收净化装置优点

（1）设计*，功能齐全，结构合理，自动控制。
（2）压缩系统：采用SF6无油封闭高压压缩机，无泄漏。

（3）抽真空系统采用双级旋片式真空泵，在系统中设有自动防止返回油装置。

（4）净化系统采用日本CKD公司原理过滤器，过滤器采用电加热及内装高效吸附剂，提纯净化效果更显著，能高效去除空气CF4等 (无需频繁更换吸附剂)。

（5）装置电气系统三相电源自动确认、断相自动保护。

（6）装置控制系统采用技术的SF6阀门

（7）贮存系统按用户要求配置250KG贮液罐。

（8）设备采用移动式。

高精度SF6气体回收净化装置技术性能指标

（1）型式：移动式、压力式
（2）工作原理

a、使用压缩机高压—冷凝液化SF6气体。气液态净化。

b、干燥器辅助气体回收和回充。

c、充气时经缓冲气化充入（可加热）。

（3）工作环境温度： -10℃（-30可选）--- +40℃

（4）主要性能及技术参数

1、装置极限真空度<10Pa

2、装置抽真空速率55--110m3/h (真空泵极限真空度小于0.06Pa)

3、装置充气初压力<133 Pa(用户要求自定)

4、装置充气终压力≤0.8M Pa

5、装置充气速率>20m3/h

6、装置回收初压力≤0.8M Pa

7、装置回收终压力<5000Pa

8、装置回收压缩机速率20m3/h

9、装置年泄漏率<1%

10、装置贮罐高设计压力4.5M Pa