真空度测试仪主要特点：
1、基于电离电荷的采样技术
BS系列真空度测试仪均采用基于电离电荷的采样技术。我公司专家在磁控放电的研究中发现：在外激励电源、真空灭弧室的几何尺寸、所用材料一定时，真空灭弧室内的真空度与电离的电荷量有非常准确的对应关系，而与电离电流的峰值仅有概率上的相关间接关系。因此，我公司*了基于电离电荷的采样技术，显著提高了真空灭弧室的真空度计量的准确性。
2、高低压管型测试
本机另外对测试电压输出应用了两个档位(高压3万低压2.5)，因此可对高低压不同的各类管型时行有效测试。
3、内置国内外几乎所有真空灭弧室的测量曲线
真空灭弧室由于其几何尺寸、材料的不同，当内部真空度和外加激励电源一定时，其放电电荷量是不同的，并且有相当的差异。为准确测量，对每一种真空灭弧室必须有对应的从电离电荷量到真空度推算曲线。我公司的专家通过与国内主要真空灭弧室生产厂家的密切合作，取得了几乎国内外所有真空灭弧室的电离电荷和真空度关系的数据，通过数学处理，将其特征参数送入BS系列产品。因此，BS系列产品内置国内外几乎所有真空灭弧室的测量曲线。这是国内外同类产品中*的。
4、漏电电流的处理
对处于分断状态的真空灭弧室动触头加高压静触头端加负离子电流时，静触头端会有数值不等的几个微安的漏电电流，此漏电电流即使是同型号的真空灭弧室也有较大的个体差异。尤其是对于装在整机上的真空灭弧室，由于其周边的绝缘支撑件也有漏电，这些漏电的总和有更大的不稳定性和不可预测性。并且在数值上与10E—4Pa数量级的真空灭弧室的电离电流相当。我们采用二次起动高压的方法，扣除了漏电电流，保证了无论是装于整机上还是待装的真空灭弧室的真空计量精度。
5、判别*漏气的真空灭弧室
在BS-II型机中，通过高压击穿的方式判别真空灭弧室是否*漏气。
6、完善的输入保护电路
当真空灭弧室的真空度非常低时，测量时真空灭弧室会被高压击穿，瞬间的高压直接加至负离子电流采样电路上，使其承受十分强的电冲击。BS-II的采样电路增加了完备的保护电路，即使仪器由于输入端的高压直接加到负离子电流采样端居*时间，微电脑保护装置会立即起控，使其进入保护状态，就不会造成电路严重的损坏。
7、数据记录
内设微型打印机，可随时打印出被测数据。

真空度测试仪工作原理：

BS系列真空度测试仪将灭弧室的两触头拉开一定的开距，施加脉冲高压，与残余气体分子发生碰撞电离，所产生的离子电流与残余气体密度即真空度近似成比例关系。对于不同的真空管，在同等真空度条件下，离子电流的大小也不相同，当测知离子电流后，通过离子电流一真空度曲线，由计算机自动完成真空度的计算，并显示真空度值。

真空度测试仪测试方法：

真空度测试常见的有破坏性测试方法和无损检测方法。破坏性测试方法常见的是采用针头刺入容器顶空，通过压力（真空度）传感器探测获取真空度，该测试方法在一定程度上会受到管路中空气的影响，可以用于真空度的粗略抽查，在小顶空容器中表现尤为明显。典型的应用是用于粗略的进行密闭容器完整性测试（CCIT）评估，方法是将高真空的西林瓶（抽真空到接近0.1mbar）留样半年到1年，然后观察瓶内真空度。如果里面还有一定真空度，即里面的压力是微负压，说明瓶子是不漏的；相反，如果里面的压力是常压，说明瓶子是漏的。

如果是用于工艺的优化和标准的制定，通常会采用无损的真空度测试方法。无损的真空度测试方法常见的是激光法（即调频光谱法（FMS）），它的基本原理是空气中的O2、水汽、CO2会在一定波段下有激光吸收，并且会得到吸收的图谱,吸收的激光量(在图中是峰高或振幅)和物质的含量成正比，其中水汽的激光吸收图谱中的峰宽（波峰和波谷之间的横向距离）和顶空总压力成正比。因此，采用激光法能够对容器进行无损真空度测试。激光法对真空度的小检出限大约为7mbar，因此能测试出接近真实的真空度。

真空度测试仪技术参数：
1. 真空度测量范围： 9.999×10-1～1×10-5
2. 离子电流测量范围： 9.999×10-1～1×10-7
3. 测量误差： <10%
4. 测量分辨率： 10-5pa
5. 允许环境温度： -20℃～50℃
6. 空气湿度： ≤80%RH
7. 电源： AC/220V/50Hz±10%
8. 外型尺寸： 420×290×210（mm）
9. 高压输出： 脉冲30kV15kHz