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CG系列探针台可提供在超高真空与高低温转换的环境下， 实现对器件及材料表征的IV/CV特性测试、射频测试、光电 测试、电磁输运特性及霍尔效应等测试。 通过设置真空腔、防辐射屏等结构，能够有效的营造一个集 成高温、低温、真空等测试环境，能够为生产出来的半导体器件提供稳定的测试环境。
| 型号 | SCG-O-2 | SCG-O-4 | SCG-C-2 | |
| 外形 | 900*900*530mm | 1100*1100*530mm | 1100*1100*1030mm | |
| 重量 | 约170KG | 约190KG | 约290KG | |
| 电力需求 | AC220V,50~60HZ | |||
| 样品台 | 尺寸 | 2英寸 | 4英寸 | 2英寸 |
| 样品固定方式 | 真空导热硅脂/弹簧压片 | |||
| 样品台移动 | 固定的样品台 | |||
| 真空度 | 10^-10torr真空 | |||
| 光学特性 | 显微镜行程 | 2*2英寸 | 4*4英寸 | 2*2英寸 |
| 放大倍数 | 变焦：7:1分辨率4μm (放大倍数216X)或者选用金像显微镜（20X~1000X） | |||
| 真空腔观察窗尺寸 | 2inch | 4inch | 2inch | |
| CCD像素 | 50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字） | |||
| 温控 规格 | 制冷方式 | 液氮/液氦 | 制冷压缩机 | |
| 控制方式 | 开循环手动/自动冷媒流量控制 | 闭循环自动控制 | ||
| 控温范围 | 77K~450K | 4.2K~450K | ||
| 控温分辨率 | 0.001K | |||
| 温度稳定性 | 4.2K ±0.2K 77K ±0.1K | |||
| 373K ±0.08K 473K ±0.1K | ||||
| 823K ±0.2K(可选） 973K ±1.0K(可选） | ||||
| 常温到8K冷却时间 | 90min | 150min | ||
| 8K到常温升温时间 | 90min | 90min | ||
| 常温开始的升温时间 | 100℃ 150℃ 200℃ | |||
| 30min 50min 80min | ||||
| 加热电源 | LVDC 低压直流 | |||
| 传感器 | 硅二极管 | |||
| 传感器数量 | 样品台，防辐射屏，探针臂各一个 | |||
| 功率 | 50W/100W/500W/1000W | |||
| 点针规格 | 探针数量 | 2个/4个/6个 | ||
| 探针调节 | 真空波纹管外部调节，手动控制 | |||
| 点针精度 | 2微米 | |||
| X-Y-Z行程 | 25mm-25mm-25mm | |||
| 漏电精度 | 10pA/100fA | |||
| 接口形式 | 三轴/SMA/K/光纤接口 | |||
| 可选附件 | 防震桌 | |||
| 多级压缩制冷机 | ||||
| 机械泵/分子泵组/离子泵 | ||||
| 射频部件 | ||||
| Chuck运动装置 | ||||
| 电磁铁系统/超导磁铁系统 | ||||
| 1Mpa正压系统升级 | ||||
| 超高温升级选件 | ||||
| 超高真空升级选件 | ||||
| 客户特殊定制 | ||||
（*规格和设计如有更改，恕不另行通知。）
