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C系列探针台通过增加屏蔽腔体的结构可实现无电磁干扰 (EMI) /射频干扰 (RFI)和不透光的测量环境，可在非真空条件下实现高低温测试需求。
| XY行程范围 | 300 mm x300 mm (12"x12") |
| XY行程 | 300mm x 300 mm（满足大范围行程测试） |
| 移动精度/分辨率 | < 1.0 µm (0.04 mils) (~0.8 mm/rev) |
| 平面性 | ±5µm |
| theta行程 | 粗调：360° |
| 微调精度：± 8.0° (optional)* | |
| 分辨率：7.5 x 10-3 gradient | |
| 运动控制 | 气控+无牙螺母控制 |
| Z轴升降 | 快速升降：3mm |
| 微调升降：0-13mm,精度：≤2µm |
| 材料 | 钢镀镍 |
| 针座数量 | 8 DC and 4 RF(取于针座配置) |
| 卡盘到针座平台下底面距离 | |
| Z-height运动范围 | Max.0-40mm (取于卡盘配置) |
| Separation lift | 3段：分离(300µm)，Load装载(5mm),不间断升降（0-40mm) |
| 接触重复性 | < ±1µm (0.08 mils) |
| RF 针座固定 | 磁力吸附/真空吸附 |
| DC 针座固定 | 磁力吸附/真空吸附 |
（*规格和设计如有更改，恕不另行通知。）
